From: Toshishige Shimamura <shimamura.toshishige@lab.ntt.co.jp>
日付: 2017年05月11日 21時00分
件名: 第１１回集積化MEMS技術研究会の開催のお知らせ
実装ニュース読者の皆さま
第１１回集積化MEMS技術研究会についてリマインダさせて頂きます。
ふるってご参加ください。
【開催日時】平成29年5月26日（金曜日）
【開催会場】 九州大学 稲盛財団記念館 1階 稲盛ホールC
参考ＵＲＬ：http://annex.jsap.or.jp/MEMS/
＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝
公益社団法人応用物理学会 集積化MEMS技術研究会主催
第１１回集積化MEMS技術研究会「光−テラヘルツ 通信とセンシング」 会告
集積化MEMS技術研究会
委員長 有本 和民（岡山県立大）
集積化MEMSは，次世代のデバイス・システムの成長原動力となるMore than
Moore技術の1つとして，最近，注目を集めています。本研究会は，MEMSとLSIの
両技術分野の融合と新たなテーマ開拓に向けて，材料，プロセス，デバイス構
造，実装技術，高歩留まり技術，高信頼化技術などを視野に入れ，基礎研究から
実用化に至るまでの様々な段階に関する活発な議論の場を提供します。今回は主
として「光−テラヘルツ 通信とセンシング」に焦点を当てて，最近の動向につ
いて一線でご活躍の講師をお招きして研究会を開催いたします。また，本研究会
を九州大学伊都キャンパスにて開催するに当たり、九州大学伊都キャンパスの見
学を研究会に引き続き企画いたしました。多くの方の御参加をお待ちしております。
なお昼食につきましては、参加者各自でご予定をお願いいたします。
（応用物理学会集積化MEMS技術研究会：入会はこちらhttp://annex.jsap.or.jp
/MEMS/）
【開催日時】 研究会：平成29年5月26日（金曜日）13:00〜15:05
見学会：平成29年5月26日（金曜日）15:30〜17:00
【開催会場】 九州大学 稲盛財団記念館 1階 稲盛ホールC
アクセス：http://www.kyushu-u.ac.jp/ja/campus/ito/
【参加方法】 下記申し込み先に平成29年5月19日までに電子メールでお申し込み
ください。
【参加費】 A会員（応物会員以外），B会員（応物会員），賛助会員，学生，お
よび入会手続き中の会員は無料，左記以外の協賛会員および非会員は5000円
【見学会】 九州大学伊都キャンパス内
アクセスhttp://www.kyushu-u.ac.jp/ja/campus/ito/
【懇親会】
＜要申し込み＞ いけす てら崎
（〒819-1303 福岡県糸島市志摩野北2633，電話： 092-327-2455、送迎有）
17：00〜19:30 会費：3000円（予定）（18:30発の送迎バスも予定）
【プログラム】
講演（質疑応答を含む）40分
座長：金谷 晴一（九州大学）
13:00〜13:05 委員長挨拶 有本 和民 （岡山県立大学）
13:05〜13:45 テラヘルツ応用システムの動向:高密度半導体パッケージング品質
管理への応用を中心に （株式会社アドバンテスト 加藤英志 様）
13:45〜14:25 光MEMSセンサとそのバイオへの応用 （九州大学 澤田 廉士 教授）
14:25〜15:05 アレイ集積フォトミキサによるテラヘルツ波空間合波（九州大学
加藤 和利 教授）
15:30〜16:30 見学会
17:00〜19:30 懇親会
【問合せ先】 本研究会実行委員長： 金谷 晴一（九州大学） E-mail:
kanaya@ed.kyushu-u.ac.jp
【参加申し込み方法】
◎下記情報を記入後，integmems@lsi.pi.titech.ac.jp に電子メールでお申し込
み下さい。
応用物理学会 第11回集積化MEMS技術研究会 参加申込
氏名 ＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿
所属機関 ＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿
電子メール ＿＿＿＿@＿＿＿＿＿＿＿＿＿
電話 ＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿
連絡先住所 〒＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿
研究会会員 会員 ／ 非会員 （会員番号： ）
研究会参加の有無： 参加 ／ 不参加
見学会参加の有無： 参加 ／ 不参加
懇親会参加の有無： 参加 ／ 不参加
--
島村 俊重 (Toshishige SHIMAMURA)
NTT先端集積デバイス研究所
ソーシャルデバイス基盤研究部
Tel:046-240-2464//Fax:046-240-4047
E-mail:shimamura.toshishige@lab.ntt.co.jp