From: MOCHIZUKI Shunsuke <motiduki@msi.co.jp>
日付: 2019年07月05日 09時25分
件名: 第10回集積化MEMS技術研究ワークショップ (7/26) のご案内
応用物理学会集積化MEMS技術研究会・幹事の望月です．
本研究会では，集積化MEMS技術に関するワークショップを定期的に開催しております．
今回は，産業技術総合研究所・集積マイクロシステム研究センターにおいて，
2件の招待講演，見学会，および一般講演を行います．
皆様のご参加をお待ち申し上げております．
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公益社団法人応用物理学会集積化MEMS技術研究会主催
第10回集積化MEMS技術研究ワークショップ開催要項
集積化MEMS技術研究会委員長
平本俊郎（東京大学）
公益社団法人応用物理学会集積化MEMS技術研究会は，集積化MEMS技術に関するワークショップ
を定期的に開催しています．集積化MEMS技術研究ワークショップは研究会会員様からの研究成果
の発表とともに企業の賛助会員様からの技術紹介も行い，議論や情報交換を行うことを
主な目的としています．
また，ワークショップは企業や研究機関で開催され，今後の会員皆様の研究開発に役立つ情報が
得られるように開催場所では見学会も企画しています．
次回の第１０回集積化MEMS技術研究ワークショップは，産業技術総合研究所・集積マイクロ
システム研究センターにて開催します．
本ワークショップでは2件の招待講演と複数の一般講演を予定しています．
一般講演として、一般会員様や企業の賛助会員様からの発表および技術紹介は，
すべてショート講演（3－5分予定）＋ポスター形式（展示も含む）とします．
尚，本ワークショップでは優秀なポスターに優秀ポスター賞を授与する予定です．
最後に，多くの方の投稿と参加をお願い申し上げます．
【開催日時】2019年7月26日（金），13：00～17：40
【開催会場】産業技術総合研究所（つくば東）・集積マイクロシステム研究センター
所在地： 〒305-8564 茨城県つくば市並木1-2-1
アクセス： https://www.aist.go.jp/aist_j/guidemap/tsukuba/east/tsukuba_map_e.html
【agenda】
13:00～ 開会挨拶
13:10～ 招待講演：
小林 健（産業技術総合研究所）
「極薄MEMS・フレキシブル基板集積化技術とIoTデバイスへの応用」
鈴木健太（産業技術総合研究所）
「混合凝縮性ガスを導入する光ナノインプリントによる線幅20nm以下の
パターニング技術の開発」
14:10～ ショート講演とポスターセッション
16:00～17:30（予定） 見学会 「集積マイクロシステム研究センター紹介と見学」
17:30 閉会（予定）
【発表申込】
発表内容は、研究成果および企業による技術紹介を受け付けます．
ポスター発表の内容を指定様式の1ページ・サマリーに記載し，平成31年7月12日（金）までに
参加申込と同じ宛先まで電子メールにてお申込ください．発表言語は日本語または英語といたします．
【参加申込】2019年7月12日（金）までに事務局（下記メールアドレス）にお申し込みください．
【参加費】研究会会員無料，非会員5000円（申込を頂ければ、会員になれます）
【意見交換会】
時間19：00～21：00，会費3000円程度（会費は前後する場合があります）
ワークショップ終了後につくばエクスプレス・つくば駅周辺にて意見交換会を予定しています．
お誘い合わせの上，是非ともご参加ください．
【優秀ポスター賞】
ポスター発表，展示者から発表されたポスター及び出展のうち，特に優秀なものをポスター賞
としてアンケートに基づいて選考します．
【発表・参加申込先，問合先】
事務局e-mail： integmems@lsi.pi.titech.ac.jp
申込は，下記の情報を記入後、電子メールにてお願いします．
第１０回集積化MEMS技術研究会ワークショップ 参加申込
氏名＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿
所属機関＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿
電子メール＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿
電話
連絡先住所 〒
集積化MEMS技術研究会会員： 会員 / 非会員 / 学生
見学会参加の有無： 参加 / 不参加
意見交換会参加の有無： 参加 / 不参加